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产品类别  洁净室调试 > 风量/换气次数
产品名称 风量/换气次数
产品编号 41315463116
  • 产品详情
 

风量/换气次数调试

方法概述:

我公司目前在用的风量罩为8380型风量罩,使用时应严格按照JSVR/EP12-20148380型风量罩操作/维护规程》进行。使用前,应对设备状态进行检查,确认:已检定/校准合格并在有效期内;性能良好;备用电池足够。

A:风量测试依据:《洁净室施工及验收规范》 GB 50591-2010 附录E.1测试方法测试:

A.1 风量测试前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量风口、风管尺寸。

A.2 对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高至阻隔面之上0.25m;水平单向流洁净室区距送风面0.5m的垂直于地面的截面,截面上测点间距不应大于1m,一般取0.3m。测点数应不少于20个,均匀布置。

A.3 对于非单向流洁净室,一般采用风量罩法测试风量。风量罩面积应接近风口面积,测试时应将风量罩口完全罩住过滤器或出风口,风量罩边与接触面应严密无泄露。

注:用带流量计的风量罩法时,应等读数稳定后进行读数并记录,且应连续测试三次数据,保证数据的准确性。

A.4 换气次数=洁净室总风量÷洁净室容积

B:风量测试依据:《洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法》GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005 附录B.4测试方法测试:

B.1 单向流设施的检测方法

B.1.1 概述

可用单向流的风速来测定单向流洁净室的性能。可以在靠近终端送风过滤器表面的位置或是在室内测量风速。方法是规定出与送风气流成直角的测量平截面,然后把其分成面积相等的方格单元。

B.1.2 送风速度

应该在距过滤器表面约150 mm - 300 mm的位置测量风速。测量点的数目应足以测定洁净室和洁净区内的送风量,并且应该为面积(m2)的10倍的平方根,但不得小于4。每个过滤器出风口或FFU至少要有一个测量点。可以用幕帘来隔绝对单向气流的干扰。

各点的测量时间应该足够长以确保计数可再现。应该记录下多个位置上所测风速的时间平均值。

B.1.3 洁净室内风速的均匀性

应该在距过滤器表面约150 mm - 300 mm的位置测量风速的均匀性,方格单元的划分应该按客户和建造商议定的意见确定。

当生产装置和工作台安装好后,重要的一点是确认气流重大变化事件。因此,不应在靠近这些障碍物的地方测量风速的均匀性。

测得的数据可能无法显出洁净室或洁净区设施本身的特性。测定风速均匀性的数据,即风速分布数据,应该由客户和建造商协商确定。

各点上的测量时间应该足以确读数的再现性。

B.1.4 用过滤器面速测量送风量

可按B.1.2风速测量的结果计算总送风量:

Q =Σ( UC × AC )

式中:Q  为总风量;

Uc  为各个单元中心处的风速;

Ac  为单元面积(定义为设施面积被测量点数目除);

S   为单元数目总和。

B.1.5 风管中的送风量

风管中的送风量可以用孔板流量计、文丘里流量计和风速计等容积流量计测量。如果用皮托静压管和测压计或风速计(热式或叶片式)对矩形风管进行测量,则应把风管中的测量平面划分为面积相等的方格单元,然后在单元的中心处测量风速。方格单元的数目由客户和建造商议定,如9个或16个。应采用与B.1.4中相同的方法对风量进行评估。如是圆形风管,可以用EN 12599中说明的一般方法用皮托静压管测定风量。

B.2 非单向流设施的检测方法

B.2.1概述

送风量和换气次数是最重要的参数。某些情况下,需要测量各个出风口的送风速度,以测定各个送风口的风量。

B.2.2 送风口处测量的送风量

由于送风口局部气流的扰动和喷射速度产生的效应,建议采用风罩捕集所有从终端过滤器或送风散流器流出的空气。可以用配有流量计的风罩,或是用风罩出风的风速乘以有效面积。风罩的开口位置应该能完全覆盖住过滤器或散流器,其表面应该靠在一个平坦的表面上,防止空气因旁流产生不精确的读数。如采用风量罩,则应该在风罩的排风端直接测量各个终端过滤器或送风散流器的风量。

B.2.3 按过滤器面速度计算的送风量

如果没有配备风罩,可以用各个终端过滤器下风向的风速计来评估送风量。用风速乘以出口面积来测定送风量。可用幕帘隔断对单向气流的干扰。

关于测量点的数目和送风量的计算,可分别参见B.1.3B.1.4

如果无法把平面划分为等面积的方格单元,也可以采用面积加权的平均风速。

B.2.4 风管中的送风量

测定风管中的送风量与B.1.5的方法相同。

 

 


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